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第八十四章 第三家的家当全拉过来（第2页）

夏卓精密科学科技股份有限公司，是由朱宇带领科研团队一手托起来的。

作为水木大学工程系机械电子研究所所长，水木大学IC装备领域学科带头人，他从2012年开始创立夏卓公司，带领团队历经5年的时间，成功研发出光刻机双工作台系统。

样机已通过国家验收，获得国家科技重大专项认证和奖励。现这个工作台已用在上海微电子的首台28纳米纯国产沉浸式光刻机上。

现在光刻机的双工作台只有荷兰麦和夏卓公司能生产，打破了荷兰麦一家独大的局面。

谈判一开始双方就进入胶着状态，因为双方都底气很足，同前两次一样，夏卓公司以双工作台为法码，坚决要求在光刻机项目中占股40%，这夏盛公司无法接受的。

超浸润光刻机主要由工作台、投影物镜（对于极紫外光线采用反射镜）、光源三大核心系统组成。

而光刻机工作台主要承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动，并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等，又分为单工件台和双工件台，两者生产效率相差很大。

朱宇教授在谈判中说：“双工作台是高精度超复杂的光刻机设备，外国人认为我们做不出来，可现在却被夏卓公司攻破了。

我们自主研制的双工件台核心模块，即运动定位模块DOMO，它可以让双工件系统实现与掩模台以下1.5纳米的同步运动精度，这为光刻机的2纳米工艺打下了基础，我们的技术值这个价。”

张冲志见双方陷入了僵局，他没有再说什么，而是从张齐手里拿过一个文件夹，从里面取出一份文件，轻轻推到朱宇的面前。

他微笑着说道：“朱教授请您先看一下这份文件，喝口水，我们双方再谈。”

朱宇仔细一看见文件标题是《荷兰麦、夏卓双工件台的特点说明》，他心中一动，忙用手抓起文件，翻看了起来。

做为从4101年就投身在光刻机双工件研发项目中的首席科学家，他深刻明白文件中每个数据代表的意义，这表明对方对双工件台的设计和制作了解有多深。

看到文件最后，他竟看到自己的双工作台所存在的几个缺陷，其中一个竟给出了解决方案，让人有茅塞顿开之感。

这让他极度吃惊，他的心中竟有一种对方可以制造双工作台的感觉，这让他心中大惊。

他忙问张冲志：“你们这份文件是哪里来的？你们难道也研发出来了吗？”

张冲志点点头，又摇摇头，他说：“这取决于您老的态度，如果我们两家达成战略协议，夏盛公司让你们持股5%，我们的双工作台就没有研发出来。

并且帮助你们研发28纳米和5纳米的双工作台，甚至2纳米的双工作台。

如果达不成合作条件，你们还坚持40%的持股比例，一年半后我们将研发完成2纳米的双工作台，并用在对应的光刻机上。”

朱宇大脑轰地一下，他被最后光刻机三个字震到了，他死死盯着张冲志问道：“你能为刚才的话负责吗？特别是最后那一句！”

那句话太让他震惊了！

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